会社のニュース 半導体工場のモジュール式クリーンルームの特徴は何ですか？

モジュール式クリーンルームは"ビルディングブロック"論理で設計されており,半導体工場は特定のプロセス要件に応じてスペースレイアウトを調整することができます.

例えば,光立体画,エッチング,包装のための領域は,異なる清潔度レベル (ISO 1 から ISO 9 まで) で独立して構成できます.

この柔軟性により,生産ラインのアップグレード時に大規模な再構築の必要性がなくなり,停電時間が大幅に短縮されます.

通常アルミ合金や電磁鋼で作られるモジュールパネルは,簡単に組み立てられ,解体できます.生産規模が変化するにつれ,クリーンルームの迅速な拡張や調整を支援する.

各モジュール式クリーンルームユニットは 統合密封システムで設計されています 密封接合体と圧力差制御を含む ゾーン間のクロス汚染を防ぐためです

HVACシステムもモジュール化されており,各セクションに専用の空気処理ユニット (AHU) が設置されており,温度 (± 0.5°C),湿度 (± 2%),粒子数を正確に制御できます.

高効率の粒子空気 (HEPA) または超低透気空気 (ULPA) のフィルターは,天井と壁のパネルに組み込まれています.片方向のラミナー式空気流を供給し,ウエファーに粒子の蓄積を最小限に抑える.

さらに,モジュール式クリーンルームには 床の排水と廃棄物管理システムが組み込まれています. 汚染物質の拡散を防ぐために 特定のゾーン内に危険物質を保持しています.