実際、クリーンモジュール FFU の動作性能を分析する場合、参照する必要がある主な指標には、空気量、オーバーボトム圧力、騒音、および効率が含まれます。これらのパラメータの間には相関関係と相互制約があります。つまり、クリーン モジュール FFU のパフォーマンス パラメータの 1 つを改善したい場合は、パフォーマンス パラメータの他の部分を減らす必要がある場合があります。

次に、この点に関するいくつかの主要な要素を共有します。実はクリーンモジュールFFUの風量は、主に断面風速で判断しています。使用要件を考慮すると、一般的に、断面風速を毎秒 0.35 ～ 0.45 メートルの範囲に保つことが合理的です。1200×600mm仕様のFFUの場合、風量範囲は毎時910～1150m3程度です。

この場合、クリーンモジュールFFUを正常に動作させるためには、オーバーボトム圧力を80～120Paに保つ必要があります。戻り空気の中間層は約 20 ～ 40pa です。さらに、他の付帯設備があり、還気中間層の高さと幅の適切な選択にも注意を払ってください。

 

実際、クリーンモジュール FFU の性能を判断する場合、ノイズも重要な指標の 1 つです。ノイズを可能な限り低減するために、メーカーは多くの研究と改善を行ってきました。例えば、ボックスランナーの消音構造を研究・改良している。ファンインペラの流体力学に関する研究もいくつかあります。

 

しかし、実際の使用において、ノイズは依然として重要な問題です。そして実際の作業では、クリーンなモジュール FFU を使用することはなく、数百または数千の組み合わせを使用することもあります。したがって、設計では、クリーン モジュール FFU の動作ノイズが関連規格に準拠しているかどうかを判断するために、このパラメータに注意を払う必要があります。