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中国 KeLing Purification Technology Company 認証
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モジュール式クリーンルーム試運転: システムを正常に起動するためのステップバイステップ ガイド
モジュール式クリーンルーム試運転: システムを正常に起動するためのステップバイステップ ガイド

モジュール式クリーンルームの試運転は、すべてのコンポーネントが設計仕様に従って機能することを検証する厳格な多段階プロセスであり、法規制への準拠と運用の信頼性を確保します。従来の構造とは異なり、モジュール式システムは工場でテストされたコンポーネントにより迅速な検証ができるという利点がありますが、すべてのシステムをシームレスに統合するには綿密な計画が必要です。

試運転前の準備

テストを開始する前に、包括的な試運転前チェックリストによって、すべての基本要素が適切に配置されていることを確認します。これには、モジュール式の壁パネル、天井グリッド、床システムが適切に配置され、ガスケットが密閉されて正しく設置されていることを確認することが含まれます。電気、配管、圧縮空気などのユーティリティ接続は、圧力テストと漏れチェックが行われます。 HVAC システムでは、パフォーマンスを安定させるために、各ファン フィルター ユニット (FFU) が 72 時間連続稼働する予備的なエアフロー バランスが行われます。文書レビューにより、すべての機器に有効な校正証明書があり、製品安全データシート (MSDS) がファイルに保管されていることを確認します。

環境性能試験

クリーンルームの試運転の中核は、環境制御の検証に焦点を当てています。粒子計数テストでは、複数の高さと場所で校正されたレーザーカウンターを使用して空気中の汚染物質を測定し、ISO 分類基準 (ISO 14644-1) への準拠を保証します。温度と湿度のマッピングでは、空間全体に戦略的に配置されたデータロガーを使用し、設定値の±0.5°Cおよび±2% RH以内の均一な状態を検証します。圧力差試験により、隣接するクリーンルーム分類間の差圧が 12.5 Pa 以上に維持され、ゾーン間の適切なカスケード関係が確認されます。

運用システムの検証

モジュール式クリーンルームは、調和して機能する必要がある統合システムに依存しています。空気交換率テストでは、トレーサーガスの減衰時間を測定することで換気効率を計算し、十分な空気交換率が業界基準を満たしていることを確認します。フィルター完全性テスト (DOP/PAO) は、エアロゾル化粒子を使用して HEPA/ULPA フィルターに挑戦し、無菌状態を維持するために重要な漏れを検出します。適切な通知プロトコルを検証するために警報システムが意図的に起動され、機器の安全な電源遮断を確保するために緊急停止手順がテストされます。

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