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—— SIMPOR PHARMA
—— Nasir
—— IATEC、アルゼンチン
—— モハメッド Saad
清潔基準がチップの品質に与える影響は主に次の側面に反映される:
チップの製造過程で,小さな粒子 (塵や不純物など) は,リトグラフィックパターンの欠陥,ショート回路またはオープン回路などの問題を引き起こします.チップの性能と信頼性を深刻に影響するISO 1-3 のような高潔度環境では,0.1 マイクロン以上の粒子を効果的に制御し,リトグラフィー,エッチング,堆積などの重要なプロセスの精度を保証できます.
温度と湿度,空気速度,清潔室内の圧力差制御などのパラメータは,チップ製造の安定性にとって極めて重要です.精密 な 環境 制御 は プロセス の 変動 を 軽減 し,生産 効率 や 生産 率 を 向上 さ せる.
異なるクリーンエリア間の正または負の圧力差を維持することでクリーンルームは,低潔度なエリアで空気のバックフィリングを効果的に防止し,クロス汚染を防ぐことができますこれは,高精度チップ製造において特に重要です.
静電はチップ製造における一般的な問題であり,チップの性能に損傷または劣化を引き起こす可能性があります.静電の生成と蓄積を減少することによってチップの品質を保護する労働服など).
高度の清潔基準は建設と運用コストを増加させるが,汚染を減らすことで企業にとってより大きな経済的利益をもたらすことができる.生産効率の向上.
チップ製造の異なる分野 (リトグラフィー,エッチング,パッケージングなど) には,清潔性に関する要求が異なります.合理的な清潔度レベルの選択と管理 (リトグラフィー領域におけるISO 1-3とパッケージング領域におけるISO 5-7など) は,異なるプロセスのニーズを満たし,チップの品質を確保することができます..
概要すると,清潔基準は,製品の品質を確保し,生産効率を向上させ,チップ製造における生産コストを削減するための重要な要因です.