制御 区域 に 入っ て いる 空気 は すべて フィルタ に 入れ られ ます.空気 フィルタリング に は,空気 流れ から "粒子"を 分離 する こと が 含ま れ ます.排出される粒子のサイズ範囲と同じくらい多様です分離技術を理解するには,粒子が何であるかを正確に定義する必要があります.粒子が非常に小さくなるにつれて,彼らはガス相分子のように粒子のように振る舞うのをやります.このような小さな粒子は,実際に空気中に懸浮している (粒子) か,空気中に拡散している (ガスまたは蒸気) か,判断するのは難しい0.01ミクロンくらいです 微粒子が真粒子として作用する最下限です普通の分離理論は,このサイズ以下の粒子には適用されず,それらを空気から除去するには,ガス物質に留保された技術が必要です.0.01 マイクロン以上の粒子は,通常フィルタブルとみなされます.クリーンルームに入るすべての空気は,1つ以上のフィルターで処理する必要があります.高効率の粒子空気 (HEPA) と超低透気空気 (ULPA) のフィルターは,クリーンルームで使用される最も一般的なフィルターです..
空気フィルターは,フィルター介質,密封剤,フレーム,時には顔保護具および/またはガスケットで構成されています.
1) 媒体はフィルタリング材料である.一般的な媒体はガラス繊維,合成繊維,非織物繊維,PTFEである.高効率のフィルターは,アルミニウムフレームに配置された微米未満のガラス繊維メディアを使用します..
2) 密着剤は,フィルターメディアとフレームの間に漏れ防止密着物を作る粘着材料です.
3) フレームはフィルターメディアが挿入される場所です.アルミ,ステンレス鋼,プラスチック,木など様々な材料でできることがあります.
4) フィルター保護具は,フィルタを操作および設置中に保護するためにフィルターに固定されたスクリーンです.
5) ガスケット (gasket) は,フィルターとそのホイジーの間の空気の漏れを防止するために使用されるゴムまたはスポンジのような材料である.両方を圧縮することによって.空気が上流側からフィルターに入ります.フィルターを通って流れます汚染物質が空気から取り出され,清潔な空気は下流側から排出されます.下流側での空気の清潔さはフィルターの効率に依存します.
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