クリーンルームの空気ろ過

クリーンルームは環境の空気の粒子を限るために空気ろ過を用います。通常、これは非常に能率的な微粒子の空気(HEPA)または空気(ULPA)超低い微粒子のフィルターの使用によってあります。これらのフィルターは層流の適用によって部屋の空気のすべてのmicroparticlesの大体99.9%取除くことができますまたは環境への乱流の気流の技術は乾燥します。

層流はまっすぐで、妨げられていない道で流れる空気を示します。単方向流れはまっすぐな道で直接空気によってが下方にジェット機で行く、また保障するクリーンルームの建築は乱れ減ります層流のフードの使用によるクリーンルームで維持されます。層流は環境を書き入れるすべての空気をろ過し、きれいにするのにHEPAフィルターを利用します。薄層フィルターは頻繁にステンレス鋼で構成されますまたは設備を書き入れる粒子の量を保障する他の非小屋材料は低く残ります。これらのフィルターは通常天井スペースで大体80%構成します。層流を用いるクリーンルームは単方向気流のクリーンルームと普通言われます。